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2021年2月13日发(作者：抉择时刻)

洁净室的测试及验收标准

控制洁净室空气参数 的目的—检查洁净室是否符合给定的洁净度级别。无论是在投

产调试工作完成后的洁净室 检测阶段，还是洁净室使用阶段都要完成空气参数的控制工

作。在各种标准和建议（

16

）中都详细地制订了和提出了洁净室空气参数的测试和控制

方法。至今这些方法已成为广大科技界的共同财富。

在洁净室内，按其用途的不同应控制下列参数：

1

、测试状态的确定

2

、空气中粒子的浓度

3

、气流的风速和单向性（对单向气流而言）

4

、风量和换气次数

5

、最终过滤器的整体性

6

、空气温度和湿度

7

、洁净室的密闭性

8

、洁净室表面的洁净度

< p>
测试状态的确定：

根据设计要求，

一般洁净室都是 对洁净室内的空气进行静态检测，

一般不做动态检测，如需动态检测，需要制定或参照其 他标准。

空气粒子浓度的检测

洁净度级别

洁净室和洁净区均按一项 指标划分级别—一定粒径粒子的最大允许浓度（每

1m3

空

气中的粒子数）

。

空气洁净度级别和空气洁净度的测定方法均按下表中的规定确定，根据该标准的规

定， 洁净室的洁净级别是由粒径≥给定阀值

D

的粒子的最大允许浓度 确定的。

在确定实际洁净室的洁净度级别时，应对粒径≥阀值 的粒子进行统计，下面的粒子

给定粒径都是指阀值粒径。

所列为整数级别序数

N

和最常见值

D

的粒子最大允许浓度

粒子最大允许浓度

Cn

< p>
颗

m3

，粒径≥下列值，微米

ISON

级

ISO 1

级

ISO 2

级

ISO 3

级

ISO 4

级

ISO 5

级

ISO 6

级

ISO 7

级

ISO 8

级

ISO 9

级

10

100

1000

10000

100000

1000000

-

-

-

2

24

237

2370

23700

237000

-

10

102

1020

10200

102000

-

4

35

352

3520

35200

352000

3520000

-

-

8

83

832

8320

83200

832000

8320000

-

-

-

-

29

293

2930

29300

293000

备注：浓 度值

Cn

应四舍五入，小数点后保留三位，在实际情况下粒子浓 度的实际误差是存在

的，求不出精度很高的浓度。

洁净度级别表示实例

ISO 4

级；静态；给定粒径微米（

352

粒子

/m3

）

< br>。

ISO 5

级；静态；给定 粒径微米（

3520

粒子

/m3

）

；微米（

29

粒子

/m3

）

。

因此，在测试具体的洁净室的相应洁净度级别时，不需要检测如上表所示的该级别

的所有粒子粒径。而只要检测为该种洁净室给定的粒子粒径。

测定洁净度级别的方法

在检测洁净室 的洁净度级别时，应测定洁净室内

1

点或数点的悬浮粒子浓度（ 即取

样点的粒子浓度）

。

因此必须满足下列要求

1

）确认洁净室的状态与给定的相符；

2

）确定给定粒径，洁净室取样点的数量和位置；

3

）确定每一取样点的取样数量；

< /p>

4

）确定对每一种给定粒径在每

1

取样点上，每

1

次取样的取样量和取样时间；

5

）取样之后应对每一种给定粒径的 粒子进行相应统计；

6

）

< p>
将取样数据填入按各种给定粒径统计的粒子统计记录表内

（适于采用无计算 机软

件的粒子计数器的场合下）

；

7

）整理取得的数据；

8

）对结果进行分析；

9

）整理方案确定级别应符合上表要求。

气流的检测

在洁净室中的气流：

气流风速（通常是控制单向气流的风速）

气流均匀性（单向气流风速稳定性）并目视检查气流。

空气（单向气流）的风速和风量

空气 单向气流的风速是在垂直于气流方向的平面上并距离风源

150-500mm

< p>
处测得的。

测试点的数量应大于被测表面面积的 平方根，

但不得小于

3

，

应在每一个设定的网格

中进行测量，测量点应均匀地分布在平面上。

应在距离过滤器表面

150mm

处测试过滤器出口处的风速。在评价气流的均匀性时，

应在距离过滤器表面< /p>

300mm

以上处测试风速。

每

1

点的测量时间不得少于

10

秒。并且要确定平均值，最大和最小值。

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