真空泵的常用参数计算公式介绍

绝世美人儿
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2021年02月21日 15:23
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2021年2月21日发(作者:刘铭洋)


真空泵的常用参数计算公式介绍



真空常用公式



1


、玻义尔定律


体积


V


,压强


P

< br>,


PV


=常数



一定质量的气体,当温度不变时,气体的压强与气体的体积成反比。




P1/P2



V2/ V1


2


、盖吕萨克定律


< p>
当压强


P


不变时,一定质量的气体,其体积


V


与绝对温度


T


成正 比:



V1/V2


< br>T1/T2


=常数



当压强不变 时,


一定质量的气体,


温度每升高


(< /p>



P


降低


)1< /p>


℃,


则它的体积比原来增加


(

< p>





)1/273




3


、查理定律



当气体的体积


V


保持不变,一定质量的气体,压强

< p>
P


与其他绝对温度


T


成正 比,即:



P1/P2



T1/T2



在一定的体积下,


一定质量的气体,


温度每升高


(


或降低

< br>)1


℃,


它的压强比原来增加


(






)1/273




4


、平均自由程:


< br>λ



(5×


10-3)/P (cm)


5


、抽速:



S



dv/dt (

< br>升


/



)




S



Q/P


Q


=流量


(


托升


/



) P


=压强

< br>(



)




V


=体积


(



) t


=时间


(



)


6


、通导:



C



Q/(P2-P1) (



/



)


7


、真空抽气时间:



对于从大气压到


1


托抽气时间计算式:



t



8V/S (


经验公式


)


V

为体积,


S


为抽气速率,通常


t< /p>



5~10


分钟内选择。




8


、维持泵选择:


< br>S


维=


S


/10


9


、扩散泵抽速估算:



S



3D2 (D

=直径


cm




10


、罗茨泵的前级抽速:



S



(0.1~0.2)S



(l/s)


11


、漏率:



Q


漏=


V(P2-P1)/(t2-t1)


Q


漏-系统漏率


(mmHgl/s)


V


-系统容积


(l)


P1


-真空泵停止时系统中压强


(mmHg)


P2


-真空室经过时间


t

后达到的压强


(mmHg)


t


- 压强从


P1


升到


P2

< br>经过的时间


(s)


12


、粗抽泵的抽速选择:



S



Q1/P




(l/s)


S=2.3Vlg(Pa/P



)/t


S


-机械泵有效抽速



Q1


-真空系统漏气率


(


托升


/



)


P< /p>


预-需要达到的预真空度


(


< p>
)


V


-真空系统容积


(



)


t


-达 到


P


预时所需要的时间



Pa


-大气压值


(


托)



13


、前级泵抽速选择:


< p>
排气口压力低于一个大气压的传输泵如扩散泵、油增压泵、罗茨泵、涡轮分子泵等,


它们



工作时需要前级泵来维持其前级压力低于临界值 ,选用的前级泵必须能将主泵的最大


气体



量排走,根据管路中,各截面流量恒等的原则有:



PnSg≥PgS




Sg≥Pgs/Pn



Sg


-前级泵的有效抽速


(l/s)


Pn


-主泵临界前级压强


(

< p>
最大排气压强


)(l/s)


Pg


-真空室最高工作压强


(



)


S


-主泵工作时在


Pg


时的有效抽速。


(l/s)


14


、扩散泵抽速计算公式:



S



Q/P



(Kn)/(Pt)(



/

< br>秒


)


式中:


S


-被试泵的抽气速率


(l/s)


n

< br>-滴管内油柱上升格数


(



)


t


-油柱上升


n


格所需要的时间


(



)

< p>
P


-在泵口附近测得的压强


(


)


K


-滴管系数


(


托升


/



)


K



V0(L/n)(Υ0/Υm) Pa



Vt


其中

V0


-滴管和真空胶管的原始容积


(



)


L


-滴管刻度部分的长度


(mm) < /p>


n


-滴管刻度部分的格数


(



)


Υ0


-油的比重


(



/


厘米


3)


Υm


-汞的比重


(



/


厘米


3)


Pa


-当地大气压强


(



)



Vt


-滴管的刻度上的一格的对应的容积


(



/



)


15


、旋片真空泵的几何抽速计算公式:



S



πZnLKv(D2


-d2)/(24×


104) (l/s)


式中:


Z


为旋片数,


n


为转速


(



/



)



L


为泵腔长度,

D


为泵腔直径,


d


为转子直径


(cm)



Kv


为容积利用系数


(


一般取


95



)




16



O


型橡胶槽深


B



0.7D


D< /p>


为橡胶直径,槽宽


C


< br>1.6B


17


、方形橡胶槽深


B



0.8A


A

为方形橡胶边长,槽宽


C



1.6 7B


-


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-


-


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